全自动贴膜撕膜
单独贴膜或撕膜
同步贴膜撕膜
配置双臂晶圆机械手
贝努利晶圆搬运技术
晶圆智能料篮内测绘
非接触晶圆校正
蓝膜、紫外线胶膜可选
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力