4”-8”晶圆适用

可处理薄晶圆
晶圆料篮装卸料
专利的机械手撕膜技术
晶圆智能料篮内测绘
可选嵌入式LED紫外线照射模块
自由晶圆胶膜撕膜
无需任何易耗品
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力