4”-8”晶圆适用
可处理薄晶圆
晶圆料篮装卸料
胶膜贴覆前机内预切割
专利的防静电滚轮贴膜
高精度晶圆贴膜
晶圆智能料篮内测绘
长寿命切割刀片设计
自由晶圆胶膜贴覆
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力